วิธีการเทคโนโลยีการเตรียมวัตถุดิบของแมกนีตรอนสปัตเตอร์เป้าหมายไทเทเนียมสามารถแบ่งออกได้เป็น 2 ประเภทตามกระบวนการผลิต: เหล็กแท่งละลายลำแสงอิเล็กตรอน (เรียกว่าเหล็กแท่ง EB) และเหล็กแท่งหลอมเตาอาร์คไฟฟ้าที่ใช้สูญญากาศ (เรียกว่าเหล็กแท่ง (VAR) ).
ในระหว่างกระบวนการเตรียมชิ้นงาน นอกเหนือจากการควบคุมความบริสุทธิ์ ความหนาแน่น ขนาดเกรน และการวางแนวผลึกของวัสดุอย่างเข้มงวดแล้ว เงื่อนไขของกระบวนการอบชุบและกระบวนการขึ้นรูปที่ตามมายังต้องได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวดเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของชิ้นงานอีกด้วย
สำหรับวัตถุดิบของไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง การหลอมด้วยกระแสไฟฟ้ามักจะใช้เพื่อกำจัดองค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์ที่มีจุดหลอมเหลวสูงในเมทริกซ์ไทเทเนียม จากนั้นจึงใช้การหลอมลำแสงอิเล็กตรอนสุญญากาศเพื่อทำให้บริสุทธิ์ต่อไป
การหลอมลำแสงอิเล็กตรอนสุญญากาศใช้ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงเพื่อโจมตีพื้นผิวโลหะ จากนั้นอุณหภูมิจะค่อยๆ เพิ่มขึ้นจนกระทั่งโลหะละลาย องค์ประกอบที่มีความดันไอสูงจะระเหยได้ดีกว่า ในขณะที่องค์ประกอบที่มีความดันไอต่ำจะยังคงอยู่ในสถานะหลอมละลาย ปฏิสัมพันธ์ระหว่างองค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์และเมทริกซ์ ยิ่งความแตกต่างของความดันไอมากเท่าไร ผลการทำให้บริสุทธิ์ก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น
ข้อดีของการกลั่นแบบสุญญากาศหลังการหลอมคือ การกำจัดองค์ประกอบสิ่งเจือปนในเมทริกซ์ไทเทเนียมโดยไม่ทำให้เกิดสิ่งเจือปนอื่นๆ ดังนั้น เมื่อไทเทเนียมอิเล็กโทรไลต์ 99.99% ถูกหลอมด้วยลำอิเล็กตรอนในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง (เหนือ 10-4) องค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์ (Fe, Co, Cu) ในวัตถุดิบที่มีความดันไออิ่มตัวสูงกว่าไออิ่มตัว ความดันขององค์ประกอบไทเทเนียมจะระเหยออกไปเป็นพิเศษ ลดปริมาณสิ่งเจือปนในเมทริกซ์เพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของการทำให้บริสุทธิ์
การรวมกันของทั้งสองวิธีจะได้โลหะไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีความบริสุทธิ์มากกว่า 99.995 สำหรับวัตถุดิบไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์ 99.9% มักใช้ฟองน้ำไทเทเนียมเกรด 0 ซึ่งจะถูกละลายในเตาอาร์คไฟฟ้าที่ใช้สุญญากาศแล้วจึงหลอมร้อนเพื่อสร้างแท่งเหล็กขนาดเล็ก วัตถุดิบไทเทเนียมโลหะที่เตรียมโดยวิธีการทั้งสองนี้ควบคุมโครงสร้างจุลภาคของพื้นผิวสปัตเตอร์ทั้งหมดให้สอดคล้องกันผ่านการเสียรูปทางเทอร์โมกลศาสตร์ จากนั้นจึงประมวลผลเป็นเป้าหมายไทเทเนียมสปัตเตอร์แมกนีตรอนเพื่อเตรียมวงจรรวมผ่านกระบวนการต่างๆ เช่น การตัดเฉือน การเชื่อม การทำความสะอาด และการบรรจุหีบห่อ
