เพื่อที่จะย่นระยะเวลาไนไตรด์และให้แน่ใจว่าไม่มีการจำกัดประเภทของเหล็ก กระบวนการไนไตรด์สองกระบวนการจึงได้รับการพัฒนาโดยใช้กระบวนการไนไตรด์แบบเดิม ได้แก่ ไนไตรด์แบบอ่อนและไอออนไนไตรด์
ไนไตรด์แบบอ่อนนั้นเป็นไนโตรคาร์บูไรซิ่งที่อุณหภูมิต่ำโดยพื้นฐานจากไนไตรด์ ในขณะที่อะตอมไนโตรเจนของเหล็กทะลุทะลวง อะตอมของคาร์บอนจำนวนเล็กน้อยก็ทะลุผ่านได้เช่นกัน เมื่อเปรียบเทียบกับแก๊สไนไตรด์ทั่วไป ผลการบำบัดคือความแข็งของชั้นไนไตรด์นั้นสูงกว่าไนโตรเจน มีความต้านทานต่อสารเคมีต่ำและมีความเปราะต่ำจึงเรียกว่าไนไตรด์แบบอ่อน
วิธีการไนไตรด์แบบอ่อนแบ่งออกเป็นสามประเภท: ไนไตรด์แบบอ่อนด้วยแก๊ส, ไนไตรด์แบบอ่อนเหลว และไนไตรด์แบบอ่อนที่เป็นของแข็ง ปัจจุบันไนไตรด์แบบอ่อนที่ใช้แก๊สถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตในประเทศ ไนไตรด์แบบแก๊สอ่อนเป็นกระบวนการแทรกซึมร่วมของไนโตรเจนและคาร์บอนที่อุณหภูมิต่ำในบรรยากาศที่มีไนโตรเจนและอะตอมของคาร์บอนที่ทำงานอยู่ สารที่แทรกซึมร่วมที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ ยูเรีย ฟอร์มาไมด์ แอมโมเนีย และไตรเอทาโนลามีน ซึ่งผ่านการสลายตัวด้วยความร้อนที่อุณหภูมิไนไตรด์แบบอ่อน ปฏิกิริยาทำให้เกิดอะตอมไนโตรเจนและคาร์บอนที่แอคทีฟ อะตอมของไนโตรเจนและคาร์บอนที่ใช้งานอยู่จะถูกดูดซับโดยพื้นผิวของชิ้นงานและเจาะเข้าไปในพื้นผิวของชิ้นงานโดยการแพร่กระจาย ดังนั้นจึงได้ชั้นไนโตรคาร์บูไรซิ่งที่ประกอบด้วยไนโตรเจนเป็นส่วนใหญ่ อุณหภูมิไนไตรด์แบบอ่อนของแก๊สมักจะอยู่ที่ 560-570 องศา เนื่องจากความแข็งของชั้นไนไตรด์จะสูงที่สุดที่อุณหภูมินี้ โดยปกติเวลาไนไตรด์คือ 2-3 ชั่วโมง เพราะหากเกิน 2.5 ชั่วโมง ความลึกของชั้นไนไตรดิ้งจะเพิ่มขึ้นช้ามากเมื่อเวลาผ่านไป
นอกจากนี้ ลักษณะของเทคโนโลยีไนไตรด์แบบอ่อนของเตาไนไตรด์คือ หลังจากที่เหล็กผ่านการบำบัดไนไตรด์แบบอ่อน จะเกิดชั้นสีขาวสว่างบาง ๆ
